Ein chinesischer Staatskonzern ist offenbar in der Lage, Lithographie-Maschinen auf Basis von ultraviolettem Licht zu bauen, die unverzichtbar für die Hersteller moderner Chips sind. Die Anleger reagieren nervös. Sie fürchten um die Margen von ASML und der großen Chiphersteller.

Eine Nachricht aus Shanghai, die zunächst nur Fachleute einordnen konnten, bringt derzeit an den Weltbörsen den KI- und Chip-Boom zum Erliegen. Das bisher wenig bekannte chinesische Staats-Unternehmen Aishengna soll mit der Produktion eigener Lithographiesysteme begonnen haben. Es geht dabei um hochkomplexe Immersionsmaschinen auf Basis von ultraviolettem Licht (Deep Ultraviolet, kurz: DUV). Diese Maschinen belichten die Strukturen auf Siliziumwafern und machen es damit erst möglich, sie mit nanometer-kleinen Leiterbahnen zu bestücken. Deshalb gehören sie zu den wichtigsten Werkzeugen in einer Chipfabrik. Bislang dominiert der niederländische Maschinenbauer ASML diesen Markt quasi als Monopolist. Eine einzige Lithographiemaschine kostet mehrere Millionen Euro. Das liegt unter anderem daran, dass einzelne Komponenten, etwa die Laser, die der deutsche Maschinenbauer Trumpf beisteuert, für sich selbst absolute High-Tech sind.

USA sanktionieren Export nach China

Mittels Sanktionen und Exportkontrollen versuchen die USA seit Jahren zu verhindern, dass China in den Besitz dieses wertvollen Know-hows kommt. Doch nun scheint es Aishengna trotzdem gelungen zu sein. Es wäre ein weiterer Schritt auf Chinas erklärtem Weg, die Abhängigkeit von ausländischen Ausrüstern zu beenden.

Nach Informationen von Reuters hat die Regierung in Peking Teams mehrerer chinesischer Lithografie-Start-ups in der Aishengna Electronic Technology Group zusammengeführt, um das Vorhaben umzusetzen. Für 2026 sind dem Bericht zufolge fünf Anlagen geplant, 2027 schon rund 20. Die Maschinen sollen unter anderem an den Chiphersteller SMIC und den Speicherhersteller CXMT - beide sind chinesische Unternehmen - gehen. Die Quellenlage ist allerdings dünn: Die beteiligten Firmen haben die Berichte nicht offiziell bestätigt. Zudem muss Aishengnas System offenbar noch umfangreich getestet werden. Insider berichten, die Maschinen lägen bei Leistung und Zuverlässigkeit noch deutlich hinter ASML zurück.

Wie ASML so mächtig wurde

ASMLs Vormachtstellung ist das Ergebnis einer jahrzehntelangen Wette auf die richtige Technologie – und auf Kooperationen innerhalb der westlichen Industriestaaten. ASML entstand 1984 als Gemeinschaftsunternehmen von Philips und ASM International. Zunächst war die Firma ein kleiner Herausforderer der japanischen Anbieter Nikon und Canon. Entscheidend war, dass ASML nicht einfach selbst eine Maschine entwickelte, sondern ein enges Netzwerk aus Kunden, Zulieferern und Forschungseinrichtungen aufbaute. Der Anstoß dazu kam von Intel – und vom Pentagon, wie Chris Miller in seinem Buch „Chip War“ beschreibt. Darin erklärt er auch, wie ASML von den Niederlanden aus eine globale Wertschöpfungskette orchestriert: Die extrem präzisen Spiegel kommen von Carl Zeiss in Deutschland, die Lichtquelle für das UV-Licht von Cymer aus den USA – das Unternehmen wurde 2012 von ASML übernommen. Tausende Spezialfirmen liefern weitere Komponenten. ASMLs Stärke liegt in der Integration, der Software und dem Erfahrungswissen aus den Fabriken der Kunden.

Der große Durchbruch gelang dem Unternehmen mit EUV, der extrem ultravioletten Lithografie. Dieser Prozess arbeitet mit einer Wellenlänge von 13,5 Nanometern und ermöglicht somit die Belichtung der feinsten Strukturen moderner Prozessoren. Die Entwicklung dauerte Jahrzehnte und verschlang Milliarden. Intel, TSMC und Samsung unterstützten ASML seit 2012 mit Milliardenbeträgen dabei, die Technologie zur Serienreife zu bringen. Seit 2018 spielt EUV eine entscheidende Rolle in der industriellen Fertigung. Die heutigen Chips im Nanometer-Bereich wären ohne die Maschinen von ASML gar nicht möglich. Und die Niederländer sind der einzige Anbieter von kommerziellen EUV-Systemen.

ASML (WKN: A1J4U4)

Anleger schichten um

Die bloße Tatsache, dass der bislang unangefochtene Platzhirsch ASML neue Konkurrenz aus China bekommt, versetzt Investoren in Alarmstimmung. Andere Maschinenbauer, insbesondere im deutschen Mittelstand, mussten längst die bittere Erfahrung machen, wie ihnen chinesische Konkurrenten quasi über Nacht ihre besten Kunden abspenstig machten. Droht das womöglich nun auch ASML? Zumindest die Preise, die die Niederländer bislang praktisch nach Belieben festsetzen konnten, dürften durch ein zweites Angebot im Markt unter Druck geraten.

Hinzu kommt der Effekt auf die noch junge chinesische Chipindustrie: Mit eigenen Maschinen könnten die Chinesen ihren Chip-Output trotz der US-Sanktionen massiv erhöhen – und damit für ein Zusatzangebot und somit für Preisdruck sorgen. Das gilt nicht nur für Speicherchips. Doch vor allem hier zeigen sich an der Börse bereits dramatische Effekte: Aktien von Speicherchipherstellern wie Samsung und SK Hynix stehen ohne seit Tagen unter Druck, weil die Zweifel an der Nachhaltigkeit des KI-Booms wachsen. Im Zuge der Neuigkeiten aus China verloren nun seit Wochenbeginn erneut zweistellig – und das, obwohl Samsung am Dienstag eine Preiserhöhung für seine DRAM-Chips um 20 Prozent ankündigte. Der Speicherhersteller Micron hat von seinem erst Ende Juni erreichten Allzeithoch bereits ein Drittel an Wert eingebüßt. Der koreanische Speicherchiphersteller SK Hynix verlor sogar binnen weniger Wochen fast 50 Prozent seines Börsenwerts.

Gleichzeitig ging am Montag in China ein neuer Chipriese an die Börse: CXMT bezeichnet sich als Chinas größten DRAM-Hersteller. Die Aktie, die allerdings aufgrund eines vergleichsweise geringen Free Floats künstlich knapp gehalten wurde, schoss am Tag ihres Börsendebüts direkt um mehr als 500 Prozent in die Höhe. Damit war CXMT zeitweise das wertvollste Unternehmen Chinas.

Micron Technology (WKN: 869020)

DUV ist (noch) nicht EUV

Steht die Machtübernahme also kurz bevor? Ein Blick auf die Details zeigt: nicht ganz. So zielt etwa der Angriff von Aishengna auf ASML zunächst auf eine ältere Chip-Generation. Immersions-DUV nutzt typischerweise 193-Nanometer-Licht. Zwischen Linse und Wafer liegt eine Schicht hochreinen Wassers, die die Auflösung verbessert. Für die Herstellung modernster Chips reicht diese Technik allein nicht aus. Mittels Mehrfachbelichtung könnten chinesische Hersteller jedoch auch ohne EUV auf diese Weise vergleichsweise fortgeschrittene Chips fertigen – wenn auch mit mehr Prozessschritten, höheren Kosten und einer geringeren Ausbeute.

Genau hier liegt nach Ansicht von US-Experten die Schwachstelle des chinesischen Projekts. In der Chipfertigung zählt nicht, ob eine Maschine grundsätzlich ein Muster auf einen Wafer bringt. Entscheidend ist der sogenannte Yield: Wie viele der produzierten Chips funktionieren am Ende? Wie groß ist der Ausschuss? Auch Durchsatz, Verfügbarkeit, Wartung und die Fähigkeit, einen großen Maschinenpark in unterschiedlichen Fabriken stabil zu betreiben, beeinflussen den Erfolg. Auf all diesen Feldern liegt ASML noch weit vorne. Von einer Yield-Parität mit ASML sei Aishengna noch weit entfernt, sagten Analysten dem US-Börsensender CNBC. Auch die angepeilten Stückzahlen sind noch sehr gering. Zum Vergleich: ASML will allein 2026 rund 130 Immersions-DUV-Systeme ausliefern.

Weiterführende Links

Warum die Gefahr für westliche Chipriesen trotzdem real ist

Kurzfristig dürften die neuen Lithographie-Maschinen aus China ASMLs globale Stellung also kaum erschüttern. Sie ersetzen vor allem Lieferungen, die China wegen US-amerikanischer und niederländischer Exportkontrollen ohnehin nicht erreichen. Ein lokaler Konkurrent im Reich der Mitte belastet daher nicht automatisch ASMLs weltweiten Auftragsbestand. Es ist auch nicht zu erwarten, dass westliche Hersteller demnächst auf die gegenüber ASML veraltete Technik zurückgreifen.

Langfristig sieht das allerdings anders aus: Mit jedem ausgelieferten System erhält der neue Konkurrent aus Fernost reale Daten aus dem Fabrikbetrieb. Staatliche Förderungen durch die Regierung in Peking dürften die anfänglich schlechtere Wirtschaftlichkeit ausgleichen. So könnte über die Jahre ein eigener Zulieferer- und Talentpool in China entstehen, der durch Iterationen, Kundenfeedback und steigende Stückzahlen immer relevanter wird.

Apple sucht bereits Verbündete in China

Die entscheidende Frage lautet nicht, ob Aishengna schon morgen selbst EUV beherrscht. Das ist derzeit äußerst unwahrscheinlich, denn dafür benötigen die Maschinen eine leistungsfähige Lichtquelle, nahezu perfekte Spiegel, Vakuumtechnik, hochpräzise Mechanik und komplexe Steuerungssoftware. ASML brauchte rund zwei Jahrzehnte intensiver Entwicklung und massive Unterstützung durch die Chipkonzerne, um EUV wirtschaftlich nutzbar zu machen.

Aishengna ist also (noch) kein ASML-Killer. Aber seine bloße Existenz zeigt, dass Exportkontrollen einen gegenteiligen Effekt haben können: Sie bremsen China zwar kurzfristig im Wettrennen um die modernsten Chiptechnologien aus, erhöhen zugleich aber den Anreiz für das Land, eine eigene Maschinenindustrie aufzubauen. ASMLs Vorsprung bleibt vorerst gewaltig. Die neue Konkurrenz greift ihn nicht an der Spitze an, sondern an der Basis. Und das könnte bereits ausreichen, um über kurz oder lang die Margen von ASML schrumpfen zu lassen. 

Genau das preist die Börse jetzt ein. Die Zeiten massiver Überrenditen könnten daher für ASML zu Ende gehen. Dazu passt eine weitere Meldung vom Dienstag: Offenbar prüft der US-Technologieriese Apple bereits ernsthaft, bei CXMT Speicherchips zu beziehen. Nach Berichten eines US-Technologieportals testet Apple Speicherprodukte von CXMT für den chinesischen Markt. Außerdem habe Apple noch bei einem weiteren chinesischen DRAM-Hersteller um eine Freigabe gebeten. Der Konzern will sich damit zusätzliche Lieferquellen für seine iPhones sichern. Deren Preise hatte Apple erst kürzlich wegen der drastisch gestiegenen Preise für Speicherchips anheben müssen.

Häufige Fragen zum Thema

Was macht das chinesische Statsunternehmen Aishengna?

Das bisher wenig bekannte chinesische Staatsunternehmen Aishengna soll mit der Produktion eigener Lithographiesysteme begonnen haben. Das sind hochkomplexe Immersionsmaschinen auf Basis von ultraviolettem Licht (Deep Ultraviolet, kurz: DUV). Diese Maschinen belichten die Strukturen auf Siliziumwafern und machen es damit erst möglich, sie mit nanometer-kleinen Leiterbahnen zu bestücken. Deshalb gehören sie zu den wichtigsten Werkzeugen in einer Chipfabrik. Bislang dominiert der niederländische Maschinenbauer ASML diesen Markt quasi als Monopolist.

Baut Ashenga dieselben Maschinen wie ASML?

Nein. Aishengna stellt derzeit Maschine auf Basis von Immersions-DUV her, die typischerweise 193-Nanometer-Licht nutzen. Zwischen Linse und Wafer liegt dabei eine Schicht hochreinen Wassers, die die Auflösung verbessert. Damit ermöglichen diese Maschinen nur die Herstellung einer älteren Chip-Generation. Für die Herstellung modernster Chips reicht die Technik nicht aus. Mittels Mehrfachbelichtung könnten chinesische Hersteller jedoch auch auf diese Weise vergleichsweise fortgeschrittene Chips fertigen – wenn auch mit mehr Prozessschritten, höheren Kosten und einer geringeren Ausbeute.

Was macht das chinesische Unternehmen CXMT?

CXMT produziert vor allem Speicherchips. Das Unternehmen bezeichnet sich als Chinas größten DRAM-Hersteller. Die Aktie schoss am Tag ihres Börsendebüts am 27. Juli 2026 direkt um mehr als 500 Prozent in die Höhe. Damit war CXMT zeitweise das wertvollste Unternehmen Chinas.